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产品优势：
适用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
应用：
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2激光
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技术数据 |
EH4200 |
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排量（工作容积） |
4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1 |
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使用前级泵时的有效抽速 |
3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1 |
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泵的压力差 |
0-60 mbar / 0-45 Torr |
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进气口连接 |
ISO250 |
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出口连接 |
ISO100 |
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转速 |
0-2900 rpm |
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连续进气口工作压力 |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
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最大出口压力 |
1000 mbar/760 Torr |
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推荐的前级泵 |
GV400、E2M275 |
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电机功率 |
11 kW/15 hp |
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碳氢化合物 |
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PFPE |
11 kW/15 hp |
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ATEX |
11 kW |
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防爆 |
15 hp |
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环境温度范围 |
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工作 |
5至 40°C/40至 104°F |
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存储 |
-10至 80°C/14至 176°F |
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最大工作湿度 |
90% RH |
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推荐用油 |
Ultragrade 20 |
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油容量 |
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齿轮箱 |
3.5 l/3.3 qt |
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联轴器盖 |
6.5 l/7 qt |
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轴封储油器 |
1.5 l/1.4 qt |
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重量 |
400 kg / 882 lb |
